FRn03Hは、低圧損・小型設計のMEMS熱式マイクロフローセンサです。50～2000 SCCMの複数レンジ、精度±(2+0.5FS)%、応答時間≤50 ms、I²Cおよび0.5～4.5 Vアナログ出力に対応します。
- 流量範囲
- 50～2000 SCCM（複数レンジ）
- 精度
- ±(2+0.5FS)%
- 応答時間
- ≤50 ms
- 出力
- I²C + 0.5～4.5 V
- 最大使用圧力
- 200 kPa
- 低圧損
- 極めて低い始動流量
- I²C・アナログ出力
- 高い安定性・再現性
- 取り外し可能なホース接続
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FRn03Hとは
FRn03Hは、各種微小流量プロセス制御向けに設計されたMEMS熱式ガス質量流量センサです。
低コスト、容易な設置、低圧損を特長とし、従来型流量センサの置き換えにも適しています。
主な特長
- 低圧損
- 極めて低い始動流量
- I²C・アナログ出力
- 高い安定性・再現性
- 取り外し可能なホース接続
主な用途
ガス流量測定
各種乾燥ガスの微小流量測定に使用できます。
OEM機器
低圧損と小型性が必要な組込み機器に適しています。
製品仕様
| 型番 | FRn03H |
|---|---|
| 検知原理 | MEMS thermal |
| 最大流量 | 50 / 100 / 200 / 300 / 400 / 500 / 1000 / 2000 SCCM |
| 精度 | ±(2+0.5FS)% |
| 再現性 | 0.5% |
| 最大使用圧力 | 200 kPa |
| 最大流量時圧力損失 | ≤110 / ≤150 Pa（レンジにより異なる） |
| 動作温度 | 0～50℃ |
| 出力 | Digital I²C + Analog 0.5～4.5 VDC |
| I²C通信速度 | 100 kHz |
| 応答時間 | ≤50 ms |
| 動作電圧 | 5～15 VDC |
| 動作電流 | ≤30 mA |
| 保存温度 | -20～65℃ |
| 測定媒体 | 乾燥・清浄な非腐食性ガス |
| 機械接続 | Removable hose connector |
※ 製品仕様は製品改良のため変更される場合があります。ご採用・量産設計の際は最新の技術資料をご確認ください。
技術資料・製品サポート
FRn03Hの評価、製品選定、組込み設計に必要な資料や技術情報についてサポートします。
データシート・技術資料
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製品選定・組込みサポート
流量範囲、測定ガス、配管径、圧力、温度、出力方式、予定数量などに応じて、FRn03Hの適合性確認や組込み検討をサポートします。