FRn03Pは、表面実装に対応したMEMS熱式マイクロフローセンサです。50～5000 SCCMの複数レンジ、精度±(2+0.5FS)%、応答時間≤50 ms、I²Cおよび0.5～4.5 Vアナログ出力に対応します。
- 流量範囲
- 50～5000 SCCM（複数レンジ）
- 精度
- ±(2+0.5FS)%
- 応答時間
- ≤50 ms
- 出力
- I²C + 0.5～4.5 V
- 最大使用圧力
- 500 kPa
- 表面実装対応
- 狭いスペースでの多センサ統合に適する
- 極めて低い始動流量
- I²C・アナログ出力
- 高い安定性・再現性
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FRn03Pとは
FRn03Pは、各種微小流量プロセス制御向けに設計されたMEMS熱式ガス質量流量センサです。
表面実装構造を採用し、限られたスペースでの多センサ統合に適しています。
主な特長
- 表面実装対応
- 狭いスペースでの多センサ統合に適する
- 極めて低い始動流量
- I²C・アナログ出力
- 高い安定性・再現性
主な用途
精密プロセス制御
SCCMレンジの微小ガス流量制御に使用できます。
小型分析装置
限られた内部スペースでの流量センシングに適しています。
製品仕様
| 型番 | FRn03P |
|---|---|
| 検知原理 | MEMS thermal |
| 最大流量 | 50 / 100 / 200 / 300 / 400 / 500 / 1000 / 2000 / 3000 / 4000 / 5000 SCCM |
| 精度 | ±(2+0.5FS)% |
| 再現性 | 0.5% |
| 最大使用圧力 | 500 kPa |
| 最大流量時圧力損失 | ≤60 / ≤1000 Pa（レンジにより異なる） |
| 動作温度 | 0～50℃ |
| 出力 | Digital I²C + Analog 0.5～4.5 VDC |
| I²C通信速度 | 100 kHz |
| 応答時間 | ≤50 ms |
| 動作電圧 | 5～15 VDC |
| 動作電流 | ≤30 mA |
| 保存温度 | -20～65℃ |
| 測定媒体 | 乾燥・清浄な非腐食性ガス |
※ 製品仕様は製品改良のため変更される場合があります。ご採用・量産設計の際は最新の技術資料をご確認ください。
技術資料・製品サポート
FRn03Pの評価、製品選定、組込み設計に必要な資料や技術情報についてサポートします。
データシート・技術資料
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製品選定・組込みサポート
流量範囲、測定ガス、配管径、圧力、温度、出力方式、予定数量などに応じて、FRn03Pの適合性確認や組込み検討をサポートします。